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微机电系统
:梅涛，伍小平
作者：
梅涛，伍小平
出版社：
化学工业出版社
出版时间：
2003
ISBN：
7-5025-4320-1
索书号：
TM38-49/4835
分类号：
TM38-49
页数：
197页
价格：
15.00
丛书：
高新技术科普丛书
复本数：
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本书论述微机械加工工艺、MEMS力学问题、微型传感器、微执行器、真空微电子器件、典型微系统与应用等。
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文献类型
中文图书
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出版社
化学工业出版社
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作者
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出版年
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