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微机电系统
/梅涛,伍小平
作者
梅涛,伍小平
价格
CNY15.00
出版者
化学工业出版社
索书号
TM38-49/4835
ISBN
7-5025-4320-1
分类号
TM38-49
页数
197页
出版日期
20030101
出版地
北京
附件
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:伍小平
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:本书论述微机械加工工艺、MEMS力学问题、微型传感器、微执行器、真空微电子器件、典型微系统与应用等。
附注提要
本书论述微机械加工工艺、MEMS力学问题、微型传感器、微执行器、真空微电子器件、典型微系统与应用等。
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