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微传感器与微执行器全书
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微传感器与微执行器全书
:(美)格雷戈里 T. A.科瓦奇(Gregory T. A. Kovacs), 张文栋
作者：
(美)格雷戈里 T. A.科瓦奇(Gregory T. A. Kovacs), 张文栋
出版社：
科学出版社
出版时间：
2003
ISBN：
7-03-010565-6
索书号：
TP212/2414
分类号：
TP212
页数：
29,673页
价格：
78.00
复本数：
在馆数：
累借天数：
累借次数：
本书共分九章，涉及了MEMS技术的所有研究领域，畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理，并在此基础上对典型器件和系统的设计与工艺进行了详细的介绍。
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中文图书
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出版社
科学出版社
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作者
(美)格雷戈里 T. A.科瓦奇(Gregory T. A. Kovacs), 张文栋
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2003
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