微传感器与微执行器全书/(美)格雷戈里 T. A.科瓦奇(Gregory T. A. Kovacs), 张文栋

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设置4:本书共分九章，涉及了MEMS技术的所有研究领域，畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理，并在此基础上对典型器件和系统的设计与工艺进行了详细的介绍。

附注提要

本书共分九章，涉及了MEMS技术的所有研究领域，畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理，并在此基础上对典型器件和系统的设计与工艺进行了详细的介绍。

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