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出版社:"电子科技大学出版社"
作者:"谭永胜，方泽波"
出版年:"2015"
文献类型:
集成电路工艺实验
:谭永胜，方泽波
作者：
谭永胜，方泽波
出版社：
电子科技大学出版社
出版时间：
2015
ISBN：
978-7-5647-2906-6
索书号：
TN405-33
分类号：
TN405-33
页数：
85页
价格：
18.00
复本数：
在馆数：
累借天数：
累借次数：
本书按一个完整的半导体集成电路工艺过程作用来分配，将各种集成电路单项工艺分为清洗、薄膜沉积、掺杂和图形转移等几类。各部分内容是以提取重要的、有重复性和代表性的工序排成的试验项目。
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出版社
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作者
谭永胜，方泽波
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