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出版社:"电子科技大学出版社" 作者:"谭永胜,方泽波" 出版年:"2015" 文献类型:
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    集成电路工艺实验:谭永胜,方泽波

    作者:谭永胜,方泽波 出版社:电子科技大学出版社 出版时间:2015 ISBN:978-7-5647-2906-6
    索书号:TN405-33 分类号:TN405-33 页数:85页 价格:18.00
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    本书按一个完整的半导体集成电路工艺过程作用来分配,将各种集成电路单项工艺分为清洗、薄膜沉积、掺杂和图形转移等几类。各部分内容是以提取重要的、有重复性和代表性的工序排成的试验项目。
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