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集成电路工艺实验
/谭永胜，方泽波
作者
谭永胜，方泽波
价格
18.00
出版者
电子科技大学出版社
索书号
TN405-33
ISBN
978-7-5647-2906-6
分类号
TN405-33
页数
85页
出版日期
20150001
出版地
成都
附件
:
设置1
:谭永胜
设置2
:方泽波
设置3
:本书按一个完整的半导体集成电路工艺过程作用来分配，将各种集成电路单项工艺分为清洗、薄膜沉积、掺杂和图形转移等几类。各部分内容是以提取重要的、有重复性和代表性的工序排成的试验项目。
附注提要
本书按一个完整的半导体集成电路工艺过程作用来分配，将各种集成电路单项工艺分为清洗、薄膜沉积、掺杂和图形转移等几类。各部分内容是以提取重要的、有重复性和代表性的工序排成的试验项目。
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