军用微系统设计与制造/冯跃，娄文忠，韩炎晖

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设置4:本书共7章，主要内容包括：微系统技术基础、典型微系统原理、典型微传感器技术、典型微执行器技术、典型微能源技术、微系统加工技术、智能MEMS弹药引信技术等。

附注提要

本书共7章，主要内容包括：微系统技术基础、典型微系统原理、典型微传感器技术、典型微执行器技术、典型微能源技术、微系统加工技术、智能MEMS弹药引信技术等。

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