军用微系统设计与制造/冯跃，娄文忠，韩炎晖

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设置3:本书共7章，主要内容包括：微系统技术基础、典型微系统原理、典型微传感器技术、典型微执行器技术、典型微能源技术、微系统加工技术、智能MEMS弹药引信技术等。

附注提要

本书共7章，主要内容包括：微系统技术基础、典型微系统原理、典型微传感器技术、典型微执行器技术、典型微能源技术、微系统加工技术、智能MEMS弹药引信技术等。

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馆藏信息

序号	索书号	码号定位	层架信息	馆藏地点	馆藏状态	借出日期	还回日期	卷册说明
1	TN4/3762	KT1072762	外借部33架A面5列5层	外借开架	入藏