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日中中日半导体制造技术用语词典
/林少霖
作者
林少霖
价格
CNY68.00
出版者
上海大学出版社
索书号
TN305-61/4491
ISBN
978-7-81118-773-1
分类号
TN305-61
页数
382页
出版日期
20110101
出版地
上海
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:本书主要收集了有关半导体制造技术方面的基本专业词汇,包括半导体设计、材料、光刻刻蚀、扩散和离子注入、掺杂、晶体生长、芯片热处理、印刷、光学、机械等工艺及外观检验、性能检验等。
附注提要
本书主要收集了有关半导体制造技术方面的基本专业词汇,包括半导体设计、材料、光刻刻蚀、扩散和离子注入、掺杂、晶体生长、芯片热处理、印刷、光学、机械等工艺及外观检验、性能检验等。
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