薄膜材料与薄膜技术/郑伟涛

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设置3:本书阐述了薄膜材料与薄膜技术的基本原理和基本知识，介绍了薄膜材料的真空制备技术、薄膜的化学制备和物理气相沉积方法、薄膜的形成和生长原理、薄膜的表征，对目前研究和应用的几种主要薄膜材料进行了介绍、评述和展望。

附注提要

本书阐述了薄膜材料与薄膜技术的基本原理和基本知识，介绍了薄膜材料的真空制备技术、薄膜的化学制备和物理气相沉积方法、薄膜的形成和生长原理、薄膜的表征，对目前研究和应用的几种主要薄膜材料进行了介绍、评述和展望。

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馆藏信息

序号	索书号	码号定位	层架信息	馆藏地点	馆藏状态	借出日期	还回日期	卷册说明
1	TB383/8723/(2)	KT0480786	外借部32架A面7列4层	外借开架	入藏