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集成电路(IC)制程简论
:田民波
作者：
田民波
出版社：
清华大学出版社
出版时间：
2009
ISBN：
978-7-302-20959-1
索书号：
TN4/6073
分类号：
TN4
页数：
15,244页
价格：
33.00
丛书：
新材料及在高技术中的应用丛书
复本数：
在馆数：
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累借次数：
本书介绍了集成电路制程，以特征线宽130nm以下为重点，涉及集成电路制作工艺的各个方面，特别是包括短波长光源、步进与扫描照相曝光系统、CMP平坦化、双大马士革Cu布线、低-k介质材料、SoC与SiP等
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作者
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出版年
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